クリーンルームの分類
クリーンルーム用手袋、ニトリル手袋、ラテックス手袋を選択するには、クリーンルームの分類を理解することが大切です。 クリーンルームは、空気の体積あたりに許容される粒子の数とサイズに応じて分類されます。 「クラス 100」や「クラス 1000」などの大きな数字は連邦規格 209E (FS 209E) を指し、空気 1 立方フィートあたり許容されるサイズ 0.5 μm 以上の粒子の数を示します。 この規格では補間も許可されているため、「クラス 2000」などと記述することも可能です。
ISO 14644-1 規格では、空気 1 立方メートルあたりに許容される 0.1 μm 以上の粒子の数の 10 進対数を指定する、より小さい数値が使用されています。 したがって、たとえば、ISO クラス 5 のクリーンルームには、1 m3 あたり最大 105 = 100,000 個の粒子があります。
FS 209E と ISO 14644-1 はどちらも、粒子サイズと粒子濃度の間の対数対対関係を前提としています。 そのため、粒子濃度が「ゼロ」ということはありません。 エントリのないテーブルの位置は、粒子サイズと清浄度クラスの N/A (「該当なし」) の組み合わせであり、ゼロとして読み取られるべきではありません。
1 m3 は約 35 ft3 であるため、0.5 μm の粒子を測定する場合、試験基準は異なりますが、2 つの基準はほぼ同等です。 通常の室内空気はおよそクラス 1,000,000 または ISO 9 です。
クラス | 最大粒子数/ft3 | |||||
FS | ISO | ≧0.1μm | ≧0.2μm | ≧0.3μm | ≧0.5μm | 5μm以上 |
1 | ISO3 | 35 | 7 | 3 | 1 | |
10 | ISO4 | 350 | 75 | 30 | 10 | |
100 | ISO5 | 750 | 300 | 100 | ||
1 000 | ISO6 | 1 000 | 7 | |||
10 000 | ISO7 | 10 000 | 70 | |||
100 000 | ISO8 | 100 000 | 700 |
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